Thiết bị tách không khí là một tập hợp các phương pháp đông lạnh sâu để tách nitơ lỏng ra khỏi không khí. Quá trình này áp dụng nguyên lý tuần hoàn đóng băng sâu của thiết bị giãn nở tuabin áp suất thấp để biến không khí thành trạng thái lỏng. Sau đó, theo điểm sôi của oxy và nitơ lỏng, không khí được chỉnh lưu trong máy phân đoạn để thu được hơn 99,99% nitơ lỏng.